眾所周知，半導體（tǐ）工藝（yì）水平決定了晶體管尺寸大（dà）小。在半導體廠（chǎng）或光電廠中，真空係統（tǒng）應用（yòng）於提供製程設備（bèi）的（de）真空（kōng）吸盤或吸筆來搬運傳（chuán）送晶片（piàn）或玻璃，為半導體製（zhì）程中相當重（chóng）要之支援（yuán）係統（tǒng）。本篇文章涉及半導體製程技術領域，在介紹真空係統（tǒng）在半導體製（zhì）程中的應用之前，我司打算先對半導體製程和真（zhēn）空係統（tǒng）做些（xiē）簡單的介紹。

在真空係（xì）統中，真空針（zhēn）對大氣而言，表示一特定空（kōng）間或（huò）係統內部分氣體（tǐ）被排出，其內部空間的壓力（lì）小於大氣壓力，則稱此空間為真空或為真空狀態（tài），簡單（dān）言之，空間內壓力低（dī）於一大氣壓力即為真空。在高科技製程（chéng）中所要求的高真空或超高真空（kōng），就（jiù）必（bì）須要有足夠的真空技術或設備才能達成。

半導體製程專用真空係統的真空度要求一般為700-~500mmHg之（zhī）間，僅落在粗略真空範圍內（nèi），而製程設備真空度要求則視其應用（yòng）範圍而定，而落（luò）在中真空度與超高真空度或以上之範圍。

不同類型的真空泵組合而（ér）成的係統，真空（kōng）度也有所不一樣，關於（yú）真空係統（tǒng）的類型，東莞市99色在线观看真空科技有限公司整理（lǐ）出幾大（dà）類。

真空（kōng）係統的（de）類型有三種：

1.低真空（kōng）係統

2.中真空係統（tǒng）

①由羅茨泵（bèng）為主泵串聯（lián）機械泵而構（gòu）成的係統；

②由油增壓泵為主泵串聯機械泵而構（gòu）成的係統；

③由羅茨泵串（chuàn）聯小羅茨泵，再串（chuàn）聯（lián）機械泵而構（gòu）成的係統。

3.高真空係統（tǒng）

①由擴散泵為主泵串聯羅（luó）茨泵，再串聯機械泵而構成的（de）係統；

②由擴散泵為主泵串聯機械泵而構成的真空係統；

③由（yóu）擴散泵為主泵串聯油增壓泵，再串聯機械泵而構成的真空係統。

根據上（shàng）述所提到的內容，在半導（dǎo）體製程中，最佳的方（fāng）法就是選擇應用高真空係（xì）統，高（gāo）真空係統可以由不同的真空設（shè）備組（zǔ）合而成。

事實上簡單的真空係統隻是能獲（huò）得一個粗真空，而想要獲得高真空時，通常在真空係（xì）統中串聯一個高（gāo）真空泵，比（bǐ）如羅茨泵和螺（luó）杆泵等都是（shì）獲得高真空的泵。當串聯一個高真空泵之後，通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門，以便高真空泵能單獨保持真空。如果所串（chuàn）聯（lián）的高真空泵是（shì）一（yī）個油擴散泵，為了防止大量（liàng）的油蒸氣返流進入被抽（chōu）容器，通常（cháng）在油擴散泵（bèng）的入口加一個（gè）捕集器——水冷（lěng）障（zhàng）板。根（gēn）據要求，還可以（yǐ）在管路中加上除塵器、真空繼電器規頭、真空軟連接管道、真空泵入（rù）口放氣閥，散熱器（qì）等（děng）等，這樣（yàng）就構成了一個較完善的高真空係統。

關於半導體製程和（hé）真空係統，小編就介紹（shào）到這裏，如果您（nín）仍對真（zhēn）空係統在半（bàn）導體製程中的應用有什麽疑惑的話，隨時可以聯係我司（sī）。